測量范圍不平度
平均高度值
（μm）

表面光潔度
級  別

所需物鏡

總放大倍數(shù)

物鏡組件
工作距離
（mm）

視     場
（mm）

＞0.8～1.6
＞1.6～6.3
＞6.3～20
＞20～80

9
8～7
6～5
4～3

60×N.A.0.55
30×N.A.0.40
14×N.A.0.20
7×N.A.0.12

510×
260×
120×
60×

0.04
0.2
2.5
9.5

0.3
0.6
1.3
2.5